Binnen het Advanced Patterning Center zullen ASML en imec samenwerken om heel complexe geavanceerde lithografieprocessen te ontwikkelen voor de allerkleinste chip-technologieën voor de volgende generatie chips. Door de complexiteit is het noodzakelijk dat de lithografieprocessen niet losstaand worden ontwikkeld maar in een geïntegreerde benadering waarbij alle aspecten van chip-productie in rekening worden gebracht.

Het Center zal op geproduceerde transistorstructuren de interacties tussen alle stappen van het lithografieproces analyseren en vervolgens de materialen en het chip-ontwerp optimaliseren en verfijnen. Hiertoe brengt het Advanced Patterning Center imec's en ASML's complementaire expertise, hun ingenieur-teams en hun lithografie-infrastructuur samen.

Imec beschikt, zoals bekend, over een van de meest geavanceerde clean rooms ter wereld, met een volledige 300 mm pilootlijn (en extensie naar 450 mm wafers) alsook over een uniek wereldwijd partnernetwerk van materiaal- en toestelleveranciers, chip- en systeemfabrikanten. ASML zal het Advanced Patterning Center ondersteunen met zijn meest geavanceerde scanners, metrologiesystemen en holistische lithografie-oplossingen.

Meer info: 016/28.18.80 of www.imec.be.